薛其坤，男，汉族，1963年12月出生，山东蒙阴人，2000年9月加入中国共产党，研究生学历，理学博士，教授，中国科学院院士。
1963年出生于山东省。1984年毕业于山东大学光学系，1990年、1994年先后获中国科学院物理研究所硕士、博士学位。中国科学院物理研究所研究员、清华大学教授。
长期从事超薄膜材料的制备、表征及其物理性能研究。开展了第二代半导体薄膜GaAs、InAs/GaAs量子阱（点）、宽禁带半导体GaN和ZnO 薄膜生长动力学研究，发现了薄膜热膨胀系数、功函数、超导转变温度等的量子振荡现象；开展了有序纳米结构的自组织生长研究，发明了若干原子尺度精确控制生长技术，解决了异质外延生长纳米有序结构的难题。研制了几套低温生长及原子尺度原位检测装置。
他是首次发现量子反常霍尔效应的科学家之一。
